Remote接近傳感器采用MEMS技術，已在智能手機中推廣。

　　在觸摸屏手機普及之初，用戶發現觸摸屏存在缺陷：當我們以共同的姿勢拿起手機時，我們的臉經常觸摸觸摸屏，并無意中點擊掛起鍵或免提鍵，造成不必要的尷尬。因此，手機廠商采用MEMS技術，將MEMS接近傳感器設計成觸摸屏手機，手機在接聽手機時可自動鎖定屏幕，避免誤觸發。另外，在屏幕鎖定時，可關閉背光，有效地節約能源，延長待機時間。

　　智能手機使用MEMS環境光傳感器和接近傳感器：環境光檢測（根據傳感器的照度，利用接收部分檢測到的光量判斷周圍的光和暗）和接近檢測（從發光源發出的光到測量對象，根據反射到傳感器的接近度，使用接收部分檢測到的光量來判斷與測量對象的距離。